微电子材料实验室
一、实验室概况
微电子材料实验室占地约106平方米，分为半导体材料工艺室和电子微系统集成与测试室两部分。半导体工艺室拥有激光切割机，研磨抛光机，纯水机，匀胶机，浸涂机，烧结炉，球磨机，油压机，高低温测试箱，可以完成各类半导体材料的制备；电子微系统集成与测试室拥有阻抗分析仪，I-V测试仪器，丝网印刷机，UV万能打印机，PCB雕版机，可以完成半导体材料和器件的性能测试分析及系统集成。近年来，实验室承担国家级及省部级科研项目10余项，发表SCI论文80余篇，授权发明专利40余项。
二、微电子材料实验课程介绍
主要承担本科生的《微电子材料》，《半导体传感器原理及应用》课程实验教学环节和《工程实践》项目的实践环节。
精密阻抗分析仪TH2851
纯水机
V测试仪（吉时利，2450）
6位半数字万用表（安捷伦，34401A）
