微电子器件及工艺虚拟仿真实验室

一、实验室概况

微电子器件及工艺虚拟仿真实验室主要实验设备包括DELL服务器1台，48台清华同方PC、多屏多媒体教学平台，AutoIC V1.0”开发软件12套。

二、微电子器件及工艺虚拟仿真类实验课程介绍

实验室从设备结构及其工作原理、单项工艺方法、工艺集成技术、工艺流程等方面，介绍了集成电路芯片的制造工艺原理。使学生了解集成电路芯片是如何制造出来，加深对器件结构和集成电路的理解，为掌握器件结构和集成电路的设计打下良好的基础。

三、微电子器件及工艺虚拟仿真实验平台介绍

实验室采用“微电子IC制造技术虚拟培训平台AutoIC V1.0”，构建微电子虚拟制造工厂，理实结合，虚实结合，学考结合，提供一个全新的教学平台，解决当下中国微电子IC制造技术教学的困境。

1. IC器件经典工艺流程设计和仿真

    

   

    

2. 工艺参数设计和结构仿真